欧姆龙晶圆槽式清洗机高速高精度使用:契合SECSGEM通讯高速出产节拍超低碎片率
欧姆龙晶圆槽式清洗机高速高精度使用:契合SECS/GEM通讯,高速出产节拍超低碎片率
碳化硅晶圆槽式清洗甩干一体机,首要结构包含:上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、缺点查验测验工位、甩干机和下料工位。
因为碳化硅晶圆较硅晶圆厚度薄、硬度强,因此在转移及清洗过程中更简单碎片。
客户希望在保证高速节拍的前提下,下降碎片率。经过欧姆龙共同的轨道曲线操控技能,能主动核算补偿量,以按捺速度变化时产生的差错,精度高达±0.01mm。
保证了整个转移及清洗过程中的运动精度,即可在无差错的情况下完结一系列工艺操作,大大下降碎片率。
结合机器操控和上位通讯,可在短时间内以低成本轻轻松松完成SECS/GEM通讯。
如果您对本事例感兴趣,欢迎扫码提交您的需求信息,欧姆龙工程师将与您取得联系。
欧姆龙晶体定向仪高精度丈量解决方案:契合SECS/GEM通讯,完成“零”差错的精准切开
欧姆龙太阳能电池汇流带焊接机解决方案:算法优化打破功率瓶颈,寻求业界最高竞争力